光栅传感器的工作原理主要基于光学干涉和莫尔条纹效应,以下是其核心机制和应用解析:
1. 基本工作原理
光栅结构:由标尺光栅(主光栅)和指示光栅(移动光栅)组成,两者刻线密度相同但呈微小夹角叠加。
莫尔条纹生成:当指示光栅移动时,两光栅的刻线干涉形成明暗相间的莫尔条纹,其间距远大于光栅刻线间距,实现位移放大。
信号转换:光电探测器捕捉莫尔条纹的光强变化,通过放大、整形和计数系统输出数字信号,精确计算位移量。
2. 关键技术特点
高精度测量:采用电子细分技术,分辨率可达±5μm。
方向识别:通过相位差分析(如正弦波/方波信号)确定运动方向。
环境适应性:抗电磁干扰,适用于机床、自动化设备等复杂场景。
3. 应用场景
工业检测:尺寸测量、坐标定位(如测量光栅通过红外扫描实现物体尺寸检测)。
数控机床:实时监测刀具位移,提升加工精度。